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350UPM超精密微磨削/微铣削机床
350UPM超精密微磨削/微铣削机床
350UPM超精密微磨削/微铣削机床

350UPM超精密微磨削/微铣削机床

机床特点:350UPM机床为高效超精密微磨削/微铣削机床,该机床配置了转速60000、液体冷却的垂直空气轴承主轴。350UPM适用于非球面镜头阵列和微结构沟槽元件的金刚石微铣削,可以取得传统机床无法达到的光学表面精度和低误差。
机床品牌:美国 机床型号:350UPM
应用行业:光学行业
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产品简介

  350UPM机床为高效超精密微磨削/微铣削机床,该机床配置了转速60000、液体冷却的垂直空气轴承主轴。350UPM适用于非球面镜头阵列和微结构沟槽元件的金刚石微铣削,可以取得传统机床无法达到的光学表面精度和低误差。可加工零件的尺寸为:宽350mm X 长350mm X 高150mm。

机床特性

    1、PC 兼容CNC运动控制器以及Windows操作系统,编程分辨率0.01纳米 (0.0004u”);

  2、绝热型线性刻度反馈系统,分辨率34皮米 (0.034nm);

  3、碳纤维加固型整体式复合大理石基座,热稳定性、刚性以及减震性能十分出色;

    4、箱式油静压轴承滑轨,提供光滑、高刚性和很好的减震能力的线性运动性能;

  5、高速循环周期的线性电机控制器,利于提高表面质量,并使维护最小化;

      6、空气轴承磨削主轴转速200-60000rpm(配有液体致冷);

  7、X轴行程:350mm,Y轴行程:350mm,Z轴行程(垂直):150mm;

    8、极具策略性的嵌入式热耦实时原位热能监控设计。

技术参数

主机

描述

系统配置

3轴或4轴超精密CNC 微铣削系统

最大加工范围

350mm宽x350mm长x150mm高

基本架构

整体复合环氧树脂花岗岩底座嵌入碳纤维加固

隔震装置

优化空气隔震系统。可选配自动调平阻尼式空气隔震系统

控制系统

基于PC的DeltaTau CNC运动控制器, Intel i5 2.5 GHz 处理器,Windows 运行系统, 配备19寸彩色触摸屏,2G 内存,10/100/1000以太网接口,DVD+/-RW SATA光驱以及500GB 硬盘,全系统安装于NEMA 12机柜。

编程分辨率

线性分辨率0.01 nm / 角度分辨率0.0000001°

主轴

标准指标

类型

空气轴承

主轴转速范围

5,000- 60,000 RPM

轴向刚度

65 N/μm (371,000 lbs./in.) 

径向刚度(鼻端)

20 N/μm (114,000 lbs./in. )

驱动系统

无刷直流电机

运动精度

轴向: ≤ 25 nm     径向: ≤ 25 nm

线性轴

X

Y

Z(垂直)

类型

全约束式油静压,闭式导轨

全约束式油静压,闭式导轨

全约束式油静压,闭式导轨,并配置空气轴承适应控制器,用于平衡重力和不同的负载

行程

350mm

350mm

150mm

驱动系统

无刷直流直线电机

无刷直流直线电机

双无刷直流直线电机

反馈类型

激光全息线性光栅尺

激光全息线性光栅尺

激光全息线性光栅尺

反馈分辨率

0.034nm

0.034nm

0.034nm

进给速率(最大)

2000mm/min

2000mm/min

2000mm/min

直线度

0.2μM水平全行程

0.75μm垂直全行程

0.2μM水平全行程

0.75μm垂直全行程

0.2μM水平全行程

0.75μm垂直全行程

静压油装置

紧凑,低流量,低压力系统,配备封闭式循环伺服控制以及使油泵脉动最小化的压力积蓄装置

温度管理系统

描述

闭环冷却系统

提供导轨静压油及主轴冷却液的温度控制

陶瓷主轴固定臂

具有较高结构刚度和低热膨胀系数的轻量化设计

热敏电阻温度监测系统

嵌入热敏电阻持续监控实时温度,1/1000华氏度分辨率

Nano temp软件

独家温度制图软件,跟踪机器内温度变化情况

机床外壳

外壳充分利用双滑动门改进了温度稳定性(可选空气淋浴)

选配旋转轴

旋转C轴

类型

油静压

行程

360°(双向)

驱动系统

无刷直流电机

轴向刚度

875 N/μm (5,000,000 lbs./in.) 

径向刚度(鼻端)

260 N/μm (1,500,000 lbs./in.)

定位精度

±1.0弧秒

反馈分辨率

0.02弧秒

最大速度(定位模式)

50 rpm 

运动精度

轴向: ≤ 0.1μm      径向: ≤0.1μm 

环境要求

Air空气

Electrical供电要求

占地要求(包括电气柜)

为优化车削结果,热稳定性应被控制在±0.5°C (±1.0°F)以内

7.5to 10 bar (110–150 psi)

280liters/min (10 scfm)

过滤10μm 以上微粒

干燥至10°C 压力露点

208- 480 VAC; 3相位;50 / 60hz; 3 Phase (11kVA)

1.9m宽 x 1.8m 长 x 2.1m 高

重量约3,360 Kg

(包括机床外壳和电柜,但不包括控制台等外围设备)

 

 

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